Zachodniopomorski Uniwersytet Technologiczny w Szczecinie

Wydział Inżynierii Mechanicznej i Mechatroniki - Mechatronika (S1)

Sylabus przedmiotu Podstawy mikro- i nanotechnologii:

Informacje podstawowe

Kierunek studiów Mechatronika
Forma studiów studia stacjonarne Poziom pierwszego stopnia
Tytuł zawodowy absolwenta inżynier
Obszary studiów nauki techniczne, studia inżynierskie
Profil ogólnoakademicki
Moduł
Przedmiot Podstawy mikro- i nanotechnologii
Specjalność przedmiot wspólny
Jednostka prowadząca Instytut Technologii Mechanicznej
Nauczyciel odpowiedzialny Bartosz Powałka <Bartosz.Powalka@zut.edu.pl>
Inni nauczyciele Andrzej Bodnar <Andrzej.Bodnar@zut.edu.pl>
ECTS (planowane) 1,0 ECTS (formy) 1,0
Forma zaliczenia zaliczenie Język polski
Blok obieralny Grupa obieralna

Formy dydaktyczne

Forma dydaktycznaKODSemestrGodzinyECTSWagaZaliczenie
wykładyW2 15 1,01,00zaliczenie

Wymagania wstępne

KODWymaganie wstępne
W-1Ukończony kurs fizyki i podstaw nauki o materiałach

Cele przedmiotu

KODCel modułu/przedmiotu
C-1Przekazanie wiedzy na temat mikro- i nanotechnologii stosowanych przy wytwarzaniu układów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS oraz poznania praw istotnych w mikroświecie.
C-2Student potrafi scharakteryzować poszczególne mikrotechnologie i obszary ich zastosowań.

Treści programowe z podziałem na formy zajęć

KODTreść programowaGodziny
wykłady
T-W-1Efekt skali. Podstawowe materiały konstrukcyjne i półprzewodniki stosowane w mikro technologii. Przykłady mikroukładów.2
T-W-2Metody litograficzne; epitaksja; RIE; DRIE. Metody dla ubogich.2
T-W-3Elementy i mikroukłady optyczne; budowa, zastosowania. LIGA.3
T-W-4MEMS – podstawowe elementy, mikro przekładnie, mikro napędy, elementy technologii wytwarzania, zastosowania.3
T-W-5Układy mikrohydrauliki. Pakowanie i obudowy mikroukładów. Mikroukłady pomiarowe i testujące.2
T-W-6Nanotechnologia – przykłady, metody, obszary zastosowań.2
T-W-7Rozwiązanie testu. Trendy rozwojowe w mikro- i nanotechnologii.1
15

Obciążenie pracą studenta - formy aktywności

KODForma aktywnościGodziny
wykłady
A-W-1Uczestnictwo w zajęciach.15
A-W-2Analiza literatury w języku polskim i językach obcych.1
A-W-3Powtarzanie i analiza materiału. Przygotowanie do zaliczenia.8
A-W-4Konsultacje.1
25

Metody nauczania / narzędzia dydaktyczne

KODMetoda nauczania / narzędzie dydaktyczne
M-1Wykład uzupełniany prezentacjami i ilustrowany przezroczami.

Sposoby oceny

KODSposób oceny
S-1Ocena podsumowująca: Test typu MRQ.

Zamierzone efekty kształcenia - wiedza

Zamierzone efekty kształceniaOdniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówOdniesienie do efektów zdefiniowanych dla obszaru kształceniaOdniesienie do efektów kształcenia prowadzących do uzyskania tytułu zawodowego inżynieraCel przedmiotuTreści programoweMetody nauczaniaSposób oceny
ME_1A_B09_W01
Przekazanie studentom wiedzy na temat mikro- i nanotechnologii stosowanych przy wytwarzaniu układów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS oraz praw istotnych w mikroświecie (efekt skali).
ME_1A_W05C-1T-W-1, T-W-3, T-W-4, T-W-6, T-W-5, T-W-2M-1S-1

Zamierzone efekty kształcenia - umiejętności

Zamierzone efekty kształceniaOdniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówOdniesienie do efektów zdefiniowanych dla obszaru kształceniaOdniesienie do efektów kształcenia prowadzących do uzyskania tytułu zawodowego inżynieraCel przedmiotuTreści programoweMetody nauczaniaSposób oceny
ME_1A_B09_U01
Student potrafi scharakteryzować technologie stosowane przy wytwarzaniu mikroukładów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS w tym technologie dla ubogich.
ME_1A_U01C-2T-W-1, T-W-3, T-W-4, T-W-6, T-W-7, T-W-5, T-W-2M-1S-1

Zamierzone efekty kształcenia - inne kompetencje społeczne i personalne

Zamierzone efekty kształceniaOdniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówOdniesienie do efektów zdefiniowanych dla obszaru kształceniaOdniesienie do efektów kształcenia prowadzących do uzyskania tytułu zawodowego inżynieraCel przedmiotuTreści programoweMetody nauczaniaSposób oceny
ME_1A_B09_K01
Kształtowanie postawy studenta w celu uzyskania świadomości konieczności ciągłego rozwoju osobistego oraz pracy zespołowej.
ME_1A_K01C-2T-W-1M-1S-1

Kryterium oceny - wiedza

Efekt kształceniaOcenaKryterium oceny
ME_1A_B09_W01
Przekazanie studentom wiedzy na temat mikro- i nanotechnologii stosowanych przy wytwarzaniu układów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS oraz praw istotnych w mikroświecie (efekt skali).
2,0Student w teście miał poniżej 58% odpowiedzi poprawnych.
3,0Student opanował podstawową wiedzę z zakresu przedmiotu. W teście udzielił 59-67% odpowiedzi poprawnych.
3,5W teście udzielił 68-74% odpowiedzi poprawnych.
4,0Student dobrze opanował wiedzę przekazaną na wykładach. W teście udzielił ponad 75-82% odpowiedzi poprawnych.
4,5W teście udzielił 83-91% odpowiedzi poprawnych.
5,0Student zna szczegółowo wszystkie technologie przedstawione na wykładach. W teście udzielił ponad 92% odpowiedzi poprawnych.

Kryterium oceny - umiejętności

Efekt kształceniaOcenaKryterium oceny
ME_1A_B09_U01
Student potrafi scharakteryzować technologie stosowane przy wytwarzaniu mikroukładów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS w tym technologie dla ubogich.
2,0Student nie potrafi opisać technologii stosowanych przy wytwarzaniu mikroukładów elektronicznych lub MEMS.
3,0Student opanował podstawową wiedzę z zakresu przedmiotu. Jednak jest to wiedza powierzchowna, której nie potrafi twórczo analizować.
3,5
4,0
4,5
5,0

Kryterium oceny - inne kompetencje społeczne i personalne

Efekt kształceniaOcenaKryterium oceny
ME_1A_B09_K01
Kształtowanie postawy studenta w celu uzyskania świadomości konieczności ciągłego rozwoju osobistego oraz pracy zespołowej.
2,0
3,0Student opanował podstawową wiedzę z zakresu przedmiotu. Jednak jest to wiedza powierzchowna, której nie potrafi twórczo analizować.
3,5
4,0
4,5
5,0

Literatura podstawowa

  1. Bhushan Bharat (Red.), Springer Handbook of Nanotechnology, Springer, New York, 2007, 2
  2. Gianchandani Y.B., Tabata O., Zappe H. (Red.), Comprehensive Microsystems, Elsevier, Berlin, 2008
  3. Gad-el-Hak M. (Red.), The MEMS Handbook, CRC Press, Taylor & Francis Group, Boca Raton, 2006, 2

Treści programowe - wykłady

KODTreść programowaGodziny
T-W-1Efekt skali. Podstawowe materiały konstrukcyjne i półprzewodniki stosowane w mikro technologii. Przykłady mikroukładów.2
T-W-2Metody litograficzne; epitaksja; RIE; DRIE. Metody dla ubogich.2
T-W-3Elementy i mikroukłady optyczne; budowa, zastosowania. LIGA.3
T-W-4MEMS – podstawowe elementy, mikro przekładnie, mikro napędy, elementy technologii wytwarzania, zastosowania.3
T-W-5Układy mikrohydrauliki. Pakowanie i obudowy mikroukładów. Mikroukłady pomiarowe i testujące.2
T-W-6Nanotechnologia – przykłady, metody, obszary zastosowań.2
T-W-7Rozwiązanie testu. Trendy rozwojowe w mikro- i nanotechnologii.1
15

Formy aktywności - wykłady

KODForma aktywnościGodziny
A-W-1Uczestnictwo w zajęciach.15
A-W-2Analiza literatury w języku polskim i językach obcych.1
A-W-3Powtarzanie i analiza materiału. Przygotowanie do zaliczenia.8
A-W-4Konsultacje.1
25
(*) 1 punkt ECTS, odpowiada około 30 godzinom aktywności studenta
PoleKODZnaczenie kodu
Zamierzone efekty kształceniaME_1A_B09_W01Przekazanie studentom wiedzy na temat mikro- i nanotechnologii stosowanych przy wytwarzaniu układów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS oraz praw istotnych w mikroświecie (efekt skali).
Odniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówME_1A_W05Orientuje się w obecnym stanie oraz trendach rozwojowych w obszarach elektroniki, informatyki i budowy maszyn.
Cel przedmiotuC-1Przekazanie wiedzy na temat mikro- i nanotechnologii stosowanych przy wytwarzaniu układów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS oraz poznania praw istotnych w mikroświecie.
Treści programoweT-W-1Efekt skali. Podstawowe materiały konstrukcyjne i półprzewodniki stosowane w mikro technologii. Przykłady mikroukładów.
T-W-3Elementy i mikroukłady optyczne; budowa, zastosowania. LIGA.
T-W-4MEMS – podstawowe elementy, mikro przekładnie, mikro napędy, elementy technologii wytwarzania, zastosowania.
T-W-6Nanotechnologia – przykłady, metody, obszary zastosowań.
T-W-5Układy mikrohydrauliki. Pakowanie i obudowy mikroukładów. Mikroukłady pomiarowe i testujące.
T-W-2Metody litograficzne; epitaksja; RIE; DRIE. Metody dla ubogich.
Metody nauczaniaM-1Wykład uzupełniany prezentacjami i ilustrowany przezroczami.
Sposób ocenyS-1Ocena podsumowująca: Test typu MRQ.
Kryteria ocenyOcenaKryterium oceny
2,0Student w teście miał poniżej 58% odpowiedzi poprawnych.
3,0Student opanował podstawową wiedzę z zakresu przedmiotu. W teście udzielił 59-67% odpowiedzi poprawnych.
3,5W teście udzielił 68-74% odpowiedzi poprawnych.
4,0Student dobrze opanował wiedzę przekazaną na wykładach. W teście udzielił ponad 75-82% odpowiedzi poprawnych.
4,5W teście udzielił 83-91% odpowiedzi poprawnych.
5,0Student zna szczegółowo wszystkie technologie przedstawione na wykładach. W teście udzielił ponad 92% odpowiedzi poprawnych.
PoleKODZnaczenie kodu
Zamierzone efekty kształceniaME_1A_B09_U01Student potrafi scharakteryzować technologie stosowane przy wytwarzaniu mikroukładów elektronicznych, mikrohydraulicznych, MEMS, OEMS w tym technologie dla ubogich.
Odniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówME_1A_U01Potrafi pozyskiwać informacje z literatury, baz danych i innych źródeł. Potrafi integrować uzyskane informacje, dokonywać ich interpretacji, a także wyciągać wnioski oraz formułować i uzasadniać opinie.
Cel przedmiotuC-2Student potrafi scharakteryzować poszczególne mikrotechnologie i obszary ich zastosowań.
Treści programoweT-W-1Efekt skali. Podstawowe materiały konstrukcyjne i półprzewodniki stosowane w mikro technologii. Przykłady mikroukładów.
T-W-3Elementy i mikroukłady optyczne; budowa, zastosowania. LIGA.
T-W-4MEMS – podstawowe elementy, mikro przekładnie, mikro napędy, elementy technologii wytwarzania, zastosowania.
T-W-6Nanotechnologia – przykłady, metody, obszary zastosowań.
T-W-7Rozwiązanie testu. Trendy rozwojowe w mikro- i nanotechnologii.
T-W-5Układy mikrohydrauliki. Pakowanie i obudowy mikroukładów. Mikroukłady pomiarowe i testujące.
T-W-2Metody litograficzne; epitaksja; RIE; DRIE. Metody dla ubogich.
Metody nauczaniaM-1Wykład uzupełniany prezentacjami i ilustrowany przezroczami.
Sposób ocenyS-1Ocena podsumowująca: Test typu MRQ.
Kryteria ocenyOcenaKryterium oceny
2,0Student nie potrafi opisać technologii stosowanych przy wytwarzaniu mikroukładów elektronicznych lub MEMS.
3,0Student opanował podstawową wiedzę z zakresu przedmiotu. Jednak jest to wiedza powierzchowna, której nie potrafi twórczo analizować.
3,5
4,0
4,5
5,0
PoleKODZnaczenie kodu
Zamierzone efekty kształceniaME_1A_B09_K01Kształtowanie postawy studenta w celu uzyskania świadomości konieczności ciągłego rozwoju osobistego oraz pracy zespołowej.
Odniesienie do efektów kształcenia dla kierunku studiówME_1A_K01Rozumie potrzebę ciągłego uczenia się celem utrzymania poziomu i podnoszenia kompetencji zawodowych, osobistych i społecznych.
Cel przedmiotuC-2Student potrafi scharakteryzować poszczególne mikrotechnologie i obszary ich zastosowań.
Treści programoweT-W-1Efekt skali. Podstawowe materiały konstrukcyjne i półprzewodniki stosowane w mikro technologii. Przykłady mikroukładów.
Metody nauczaniaM-1Wykład uzupełniany prezentacjami i ilustrowany przezroczami.
Sposób ocenyS-1Ocena podsumowująca: Test typu MRQ.
Kryteria ocenyOcenaKryterium oceny
2,0
3,0Student opanował podstawową wiedzę z zakresu przedmiotu. Jednak jest to wiedza powierzchowna, której nie potrafi twórczo analizować.
3,5
4,0
4,5
5,0